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5天前 - 本发明 中经高纯石墨坩埚、碳化硅粉料和生长工艺相 结合使得长晶过程原料表面能形成较大碳化硅 结晶圆饼来阻挡坩埚底部原料碳颗粒输运,简便、高效...